本文標題："多種方法觀察分析氧化動力和形貌特征-綜合實驗顯微鏡"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2016-9-28 16:39:31

多種方法觀察分析氧化動力和形貌特征-綜合實驗顯微鏡

　　x射線光電子能譜(XPS)通過用x射線轟擊樣品產生的光電子得到化

學方面的信息，光電子具有的能量與俄歇電子的相似，所以樣品的檢測

深度與AES相近。但是x射線很難進行微聚焦，所以空間分辨率低于AES

。XPS的優(yōu)勢在于光電子的能量是固體中電子結合能的函數(shù)，所以能給

出元素離子化狀態(tài)方面的信息，即，是以基態(tài)還是以氧化物或氮化物的

形式存在等。

　　另一種有用的分析技術是二次離子質譜(SIMS)，用離子束濺射樣品

表面，并用質譜儀分析濺射出來的離子。SIMS能對表面非常薄的膜進行

精確的化學分析，隨著濺射的進行，可得到樣品的濃度一深度變化曲線

。

　　以上方法的應用是氧化研究的非常重要的組成部分，現(xiàn)在這方面的

專題會議經常定期舉行。這里要強調指出，氧化機理研究就是恰當應用

上述多種方法觀察分析氧化動力學和形貌特征，然后將結果加以綜合。

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